手套箱功能
1、密闭循环:真空手套箱和气体净化系统构成一个密闭的循环系统,由气体净化系统提供气体循环动力。
2、人机对话:配置彩色触摸屏,中文界面,实现人机对话,操作便捷
3、自动控制(由彩色触摸屏的人机界面和PLC程序控制系统集成对系统进行控制)
实现功能:手/自动控制箱体压力;
手/自动控制气体净化系统的净化状态;
自动控制气体净化系统的还原过程;
手/自动净化系统还原、净化及转换净化柱(配置双净化柱时);
自动箱体气氛报警;
箱体内气氛和压力参数设置和手/自动转换;
气体净化系统自动控制功能的参数设置;
查阅系统历史纪录;
气体净化系统执行机构工况检测;
程序控制系统的操作错误和警告提示
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手套箱手套的安装与维护
初次安装手套箱请先将手套套在手套口上面,然后分别将内外密封圈安装,安装后检查一下,确定密封圈均在凹槽内。
如果在使用过程中发现手套破损,应及时更换,步骤如下:
1.把要替换的手套推倒箱体内;
2.摘除掉外部的O型圈,再移动里面的O型圈致手套口外部槽上;
3.把手套卷到外面的O型圈边,注意不要让手套从手套口上掉下来;
4.尽可能地压缩新的手套,赶出里面的空气;
5.把新的手套安装到手套口上,套在旧手套上;
6.在新手套外部,手套口里面的槽上安装O型圈;
7.如果可以,把新手套放入隔离开的工作气体环境中清洁(这样能大程度去除空气,减少进入手套箱体内的空气量);
8.从手套箱里面,用另一个手套把旧手套摘到箱体内;
9.在新手套外面,手套口外部的槽上安装上O型圈;
10.通过过渡舱把旧手套取出,妥善处置。
真空热蒸发镀膜工艺
OLED器 件需要在高真空腔室中蒸镀多层有机薄膜和金属电极,薄膜的质量关系到器件质量和寿命。手套箱每月维护保养:?更换真空泵油(如果真空泵油已经不干净)。在有机真空腔室中设有多个放置有机材料的蒸发舟,加热蒸发舟蒸镀有机 材料;在金属真空腔室中设有多个放置金属电极的蒸发舟,金属蒸发舟常采用钼、钽和钨等材料制作,电极材料有Mg/Ag、Mg:Ag/Ag、Li/Al、 LiF /Al等,通常是使用低功函数的活泼金属。ITO玻璃基板放置在可加热的旋转样品托架上,其下面放置的金属掩膜板控制蒸镀图案,并利用石英晶体振荡器来控 制膜厚。
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